超声波碳氢清洗机(碳氢真空清洗机)是利用碳氢化合物对工件进行清洗的设备，设备主要由超声波发生器、超声波振板、清洗槽、真空清洗干燥槽、循环过滤系统、碳氢回收系统、传输系统等组成。根据输送方式可分为手动型和自动型。由于碳氢化合物不含ODS物质，对大气臭氧层没有损害，因而在环保方面受到环保部门及用户的欢迎。碳氢化合物具有一定的特点，因此，对清洗设备的设计制造有一定的要求。